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Aerotech ANT130XY 双轴 XY 纳米定位平台
Two-Axis XY Direct-Drive Nanopositioning Stages
更多信息请咨询产品经理：赵贵军1-8-5-1-8-5-5-9-1-8-8
型号
ANT130XY-060
ANT130XY-110 ANT130XY-160

行程 60 毫米 x 60 毫米 110 毫米 x 110 毫米 160 毫米 x 160 毫米
精度 - 基本性能 （-PL1）(1,2) ±2.5 微米 ±4.0 微米 ±5.0 微米
精度 - 高性能 （-PL3）(1,2) ± 250 纳米 （-E1， -E2）
± 200 纳米 （-E4） ± 300 纳米 （-E1， -E2）
± 225 纳米 （-E4）
精度 - 超高性能 （-PL4）(1,2) ± 250 纳米 （-E1， -E2）
± 200 纳米 （-E4） ± 300 纳米 （-E1， -E2）
± 225 纳米 （-E4）
重复性（双向）(2) ±75海里
分辨率（***小增量运动） 1 纳米 （-E1）
0.5 纳米 （-E4）
直线度 - 基础性能 （-PL1）(2) ±1.5 微米 ±2.0 微米
直线度 - 增强性能 （-PL3）(2) ±1.5 微米 ±2.0 微米
直线度 - 超高性能 （-PL4）(2) ± 250纳米 ± 300 nm
平整度 - 基本性能 （-PL1）(2) ±1.5 微米 ±2.0 微米
平整度 - 增强性能 （-PL3）(2) ±1.5 微米 ±2.0 微米
平坦度 - 超高性能 （-PL4）(2) ± 1.0 μm
投 10弧秒 12弧秒 15弧秒
辊 10弧秒 12弧秒 15弧秒
偏航 5弧秒 6弧秒 8弧秒
正交性 - 基本性能 （-PL1）(3) 10弧秒
正交性 - 增强性能 （-PL3）(3) 3弧秒
正交性 - 超高性能 （-PL4）(3) 1弧秒 0.5弧秒
***速度(4) 350 毫米/秒 （上轴： -E1， -E4）
145 毫米/秒 （上轴： -E2）
***加速度（空载）(4) 1 g （上轴）
速度稳定性 请参阅图表了解典型性能
稳定时间 请参阅图表了解典型性能
就地稳定性(5) <1 纳米 （-E1）
<0.5 纳米 （-E4）
负载能力-水平(6) 12 千克
移动质量 - 上轴 1.4 千克 1.9 千克 2.3 千克
移动质量 - 下轴 4.2 千克 5.6 千克 6.9 千克
舞台质量 5.7 千克 7.5 千克 9.2 千克
材料 阳极氧化铝
平均故障间隔时间（平均故障间隔时间） 30，000小时