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Aerotech ANT95XY两轴直驱纳米定位平台
Series Two-Axis XY Direct-Drive Nanopositioning Stages
更多信息请咨询产品经理：赵贵军1-8-5-1-8-5-5-9-1-8-8
设计特点
集成，小外形，XY直线电机平台
在大行程中的达纳米级性能
高分辨率(1纳米)，重复性(75纳米)，准确度(250纳米)
位置稳定性<1纳米
抗蠕动的交叉滚柱轴承
负载达12kg
直接驱动技术
推力23N
行程可达300mm
介绍
Aerotech的ANT平台是纳米级别的定位系统，其行程大于25毫米。ANT95-XY交叉滚动轴承，直线电机，双轴平台低轮廓。该平台配有直接驱动电机技术，非接触式线性编码器，综合电缆管理系统，和三个性能等级。
超高精度
ANT95XY的设计关键元素，如正交性，直线度，平面度进行优化，从而得到一个具有特殊几何公差的平台。Aerotech的直接驱动技术不存在迟滞或回跳，使纳米尺度的运动在X和Y两个维度上都是***和可重复的。这两种旅行选择(25毫米x25毫米和50毫米x50毫米)来与60毫米的型材高度。综合电缆管理系统设计使用寿命长，阻力小
非接触式直接驱动
非接触式直接驱动技术提供了稳健，准确，和高速定位所需的大规模生产的精密设备。ANT95XY级采用Aerotech的直接驱动技术，实现高水平的定位性能。这种直接驱动技术具有高性能、无齿槽、无接触、高速、高分辨率、高精度等特点。这种驱动和轴承组合，包装在一个非常小的轮廓和足迹，提供了许多应用程序的优势，如高精度定位，磁盘驱动器制造，光纤对准，光学延迟元件驱动，传感器测试，和扫描过程，要求平稳和***的运动。
多轴配置
ANT95XY可以与其他Aerotech ANT系列产品(垂直升降台、直接驱动旋转台和角度计)相结合，创造高性能的多轴系统。
超高性能选项
为了从我们的多轴纳米定位系统中获得尽可能高的系统精度，Aerotech开发了一种动态轨迹校准系统。利用这个复杂的校准系统，机械系统必须完全组装，功能测试，并在我们的计量实验室校准。纳米级的系统精度只能在严格的环境条件下实现，使用的测试设备进行校准，使用高精度的机械元件，并利用Aerotech行业的控制系统的软件能力。通过使用ANT95XY实现动态轨迹校准，我们能够***250纳米或更高的二维精度。规范中提供的图表说明了标准ANT95XY和ULTRA版本之间的性能差异。直线度、正交度和由平台偏航引起的精度误差几乎被消除。
规格参数
型号 ANT95XY-025 ANT95XY-050
Base PLUS(1,3) ULTRA(1,3) Base PLUS(1,3) ULTRA(1,3)
行程 25 mm 50 mm
精度 ±2.5 微米 ±250纳米 ±250纳米 ±2.5 微米 ±250纳米 ±250纳米
分辨率 1纳米
重复精度 ±100纳米 ±75纳米 ±75纳米 ±100纳米 ±75纳米 ±75纳米
单向重复精度 ±25纳米 ±25纳米 ±25纳米 ±25纳米 ±25纳米 ±25纳米
直线度 ±1.0 微米 ±1.0 微米 ±250纳米 ±1.0 微米 ±1.0 微米 ±250纳米
平面度 ±1.0 微米 ±1.0 微米 ±1.0 微米 ±1.0 微米 ±1.0 微米 ±1.0 微米
Pitch 49 μrad
(10 角秒) 49 μrad
(10 角秒) 49 μrad
(10 角秒) 49 μrad
(10 角秒) 49 μrad
(10 角秒) 49 μrad
(10 角秒)
Roll 49 μrad
(10 角秒) 49 μrad
(10 角秒) 49 μrad
(10 角秒) 49 μrad
(10 角秒) 49 μrad
(10 角秒) 49 μrad
(10 角秒)
Yaw 24 μrad
(5 角秒) 24 μrad
(5 角秒) 24 μrad
(5 角秒) 24 μrad
(5 角秒) 24 μrad
(5 角秒) 24 μrad
(5 角秒)
正交性 49 μrad
(10 角秒) 15 μrad
(3 角秒) 4.8 μrad
(1 角秒) 49 μrad
(10 角秒) 15 μrad
(3 角秒) 4.8 μrad
(1 角秒)
速度 500 mm/s (Upper Axis)
速度稳定性 <1纳米
推力 7.75 N 9.5 N
其他型号
ANT130XY-060 ANT130XY-110 ANT130XY-160
| 规格： |
详见样本 |
| 数量： |
10000 |
包装：原厂 |
| 日期： |
2022-05-19 |
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