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简介
金宏气体原厂自主生产的超纯氨应用于晶圆清洗、在CVD过程中生成氮化硅或氮化镓等薄膜
商品详细：
7N超纯氨（Q/320507 LAS03-2011)
项目名称 超纯氨
氨（NH3）纯度（体积分数）/10-2 ≥ 99.99999
氢（H2）含量（体积分数）/10-6 ＜ 0.01
氧+氩（O2+Ar）含量（体积分数）/10-6 ＜ 0.01
氮（N2）含量（体积分数）/10-6 ＜ 0.01
一氧化碳（CO）含量（体积分数）/10-6 ＜ 0.01
二氧化碳（CO2）含量（体积分数）/10-6 ＜ 0.01
烃（C1～C3）含量（体积分数）/10-6 ＜ 0.01
水分（H2O）含量（体积分数）/10-6 ＜ 0.05
总杂质含量（体积分数）/10-6 ≤ 0.1